I、MF磁過濾等離子體源電源系統
主要用途
　　MF磁過濾等離子體源電源是為磁過濾等離子體源專門配套設計的專用電源系統，它包括直流電弧電源、磁過濾管偏壓電源、導向磁場激勵電源和聚焦磁場電源、引弧接口，共裝于一個機柜內。各電源的監測儀表、控制按鈕、調節電位器等位于同一機柜前面板上，便于操作和監測。主要用于高級成膜設備和等離子體浸沒式離子注入設備。該專用成套電源全部采用高頻逆變技術，具有體積小、效率高、重量輕的特點，并且參數穩定，穩流、穩壓精度高，完全能滿足產生高質量、高穩定度等離子體源的要求。
主要參數
　　 1. 直流弧電源
　　　 (1)具有手動/自動引弧功能
　　　 (2)空載電壓≥80V，工作電壓10～50V
　　　 (3)自動穩流，穩流精度1%
　　　 （4）最大工作電流200A
　　 2. 導向磁場激勵電源
　　　 (1)工作電壓5～50V
　　　 (2)自動穩流，最大工作電流30A
　　 3. 過濾管偏壓電源
　　　 (1)工作電壓3～30V，自動穩壓
　　　 (3)最大工作電流60A
　　 4. 聚焦磁場激勵電源
　　　 (1)工作電壓10～100V
　　　 (2)自動穩流，最大工作電流15A

II、ECR微波等離子體源電源系統
主要用途
　 ECR微波等離子體源電源系統是專門為利用微波激勵的ECR等離子體源而設計，包括陽極電源、燈絲電源和磁場激勵電源。電源全部采用高頻開關逆變技術，具有體積小、重量輕、效率高的特點。其參數穩定，具有自動穩壓或自動穩流功能，參數穩定度高，集成在一起后，操作方便，觀測直觀。該電源及配套的微波管、等離子體激勵腔及引出磁場配合，可產生低氣壓、高密度、大面積均勻的氣體等離子體源，廣泛應用于PECVD、等離子體活化、等離子體聚合、等離子體清洗、等離子體浸沒式離子注入等。
主要參數
　　1. 陽極電源
　　�。�1）輸出電壓：3.5～4.5kV，自動穩壓，穩壓精度1%
　　　（2）輸出電流：0～300mA
　　2. 燈絲電源
　　�。�1）輸出電壓：3～30V
　　�。�2）輸出電流：5～15A，自動穩流，穩流精度1%
　　3. 磁場電源
　　�。�1）輸出電壓：0～100V
　　�。�2）輸出電流：20～100A，自動穩流，穩流精度1%
　
III、激光電源及控制系統
主要用途
托卡馬克等離子體參數診斷
主要參數
　　 1．振蕩級儲能電容：100～120μF/2000V　 8組充電電壓　1100V～1300V
　　 2．放大級儲能電容： 600μF/2000V　 8組充電電壓　3000V～4000V
　　 3．振蕩級晶閘管:　 IF≥300A　　 VRM≥2000V
　　 4．放大級晶閘管:　 IF≥2000A　　VRM≥4500V
　　 5．充電時間:　　　 ≤200S
　　 6．振蕩級放電脈沖滯后時間(滯后于放大級) 10～500μs
　　 7．電容器組間放電間隔:　 3～1000 ms
　　 8．第一放電脈沖延時:　　 200～999 ms
　　 9．電容充、放電電壓誤差：　　≤±1%
系統功能：
　　 1.電源充放電控制器的相應狀態以及充電進程由計算機控制顯示；
　　 2.控制計算機有電容器組間放電間隔和第一放電脈沖延時兩項參數的設置優先
　　　 權；
　　 3.控制計算機與電源充放電控制器通過串口進行通訊，通訊距離50～100m；
　　 4.能實現單級放電(僅振蕩級或放大級)、單脈沖放電或8脈沖放電；
　　 5.具有充電電壓、充電時間、放電時間間隔、延遲時間、單級放電/兩級放
　　　 電以及脈沖放電方式（單脈沖/8脈沖）顯示；
　　 6.具有系統工作狀態顯示：充電、放電、觸發（手動/遠程）、電容清零、通
　　　 訊、標定；
　　 7.提供電壓、電流測量接口；
　　 8.有放電電壓監測及報警

Ⅳ、等離子體行波管陽極電源
主要參數
1.輸出電壓：20kV～30kV連續可調
2.最大脈沖電流：5A
3.輸出脈寬：5μs～1ms
4.占空比：1/1000～1/100
5.脈沖輸出電壓頂降：＜1%
6.輸出電壓脈動（直流）：＜1%
7.每個脈沖重復電壓穩定度（平頂）：＜1%
8.脈沖上升和下降時間：＜5μs
9.可單脈沖工作，脈沖寬度：5μs～1mS
10.能直流工作，工作電流 0～1A
11.連續工作時間：≥12小時
12.具有輸出短路保護及自恢復功能
13.通用接口：由邏輯電平控制電源的接通、關斷及工作方式選擇（單脈沖
　 工作方式、連續脈沖工作方式或直流工作方式）；由模擬量控制電壓、
　 調節脈寬和占空比。
14.提供DC+15V、200mA, DC-15V、200mA直流穩壓電源
保護措施：
（1）提供陽極過流保護脈沖、電源在接到保護脈沖后10μs內關 斷。
（2）電源內部兩級保護。
（3）保護電流：0.1A～1A（電位器可調）。
（4）保護延遲時間：0～500μs（電位器可調），陽極接地。