B系列偏壓電源
產品詳情
B系列逆變偏壓電源主要用于多弧離子鍍膜、磁過濾電弧離子鍍膜、直流磁控濺射鍍膜、非平衡磁控濺射鍍膜和孿生靶中頻磁控濺射鍍膜、等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)等。主要作用包括:被鍍工件表面的輝光放電清洗、鍍膜前的離子轟擊、鍍膜時的離子加速等。合理選用偏壓電源可以有效地抑制工件表面打火,明顯提高鍍件的成品率、表面光潔度和膜基結合力。B系列偏壓電源是傳統直流偏壓電源的更新換代產品。
主要特點
1.采用先進的開關電源技術,具有體積小、效率高、運行穩定、噪聲低、對
電網干擾小等優點。B系列偏壓電源在節能和鍍膜工藝的穩定性上顯示出明
顯的優勢。
2.具備自動穩壓功能,可在電網電壓和負載波動情況下,保證電源高效、穩
定地工作,充分保證鍍膜工藝的重復性。
3.針對實際工作時存在的頻繁打火現象,設計了多重實用保護措施。B系列電
源能在頻繁打火時充分保護電源及生產工件不被損壞,并且能連續穩定地
工作。
4. 直流/脈沖電壓、脈沖寬度、脈沖頻率等均能在面板上方便地調節。
Ⅰ、BD 直流偏壓電源
主要特點
輸出為直流,具有穩壓功能。電源操作簡單、價格便宜。
主要參數
工作電壓可分A、B兩檔,每一檔內的電壓連續可調、自動穩壓,穩壓精度1% 。
A:100~1000V
B:50~500V
主要規格
按輸出功率分為2kW、5kW、10kW、20kW、30kW、50kW、70kW、100kW等。
II、BP單極脈沖偏壓電源
主要特點
輸出為單極脈沖,具有脈沖幅值穩壓功能。使用本電源能明顯減少工件打火,通過調節脈沖頻率及占空比可控制成膜溫度,增加膜基結合力,提高沉積速率。
主要參數
工作電壓可分A、B兩檔,每一檔內的電壓連續可調,脈沖上升、下降快,脈沖幅值穩定:
A:100~1000V
B:50~500V
脈沖頻率:40kHz~80kHz (連續可調或定頻)
脈沖占空比:10%~80% 連續可調
主要規格
按輸出功率分為 2kW、5kW、10kW、20kW、30kW、50kW、70kW、100kW等。
III、BDP直流疊加脈沖偏壓電源
主要特點
可方便地在帶載情況下通過調節直流電壓和脈沖電壓實現直流、單極脈沖和直流疊加脈沖三種偏壓模式。配合脈沖頻率和占空比調節,可控制成膜溫度,增加膜基結合力,提高沉積速率。本電源特別適用于低溫高速沉積和高品質鍍膜系統。
主要參數
負脈沖工作電壓可分A、B兩檔,每一檔內的電壓連續可調、脈沖上升、下降快,脈沖幅值穩定:
A:100~1000V
B:50~500V
直流電壓:20V~200V連續可調、自動穩壓,穩壓精度1%
脈沖頻率:40kHz~80kHz (連續可調或定頻)
脈沖占空比:10%~80% 連續可調
主要規格
按輸出功率分為5kW、10kW、20kW、30kW、50kW、70kW、100kW等。
IV、 BBP系列雙極脈沖偏壓電源
主要特點
正偏壓脈沖的使用能中和絕緣膜層上的電荷積累,正負脈沖占空比獨立可調,明顯減少工件打火,本電源特別適用于鍍介質膜層和高品質膜層。
主要參數
負脈沖工作電壓可分A、B兩檔,每一檔內的電壓連續可調,脈沖上升、下降快,脈沖幅值穩定:
A:100~1000V
B:50~500V
正脈沖電壓:10V~100V, 連續可調 脈沖幅值穩定
正負脈沖頻率:40kHz~80kHz (連續可調或定頻)
正負脈沖占空比:10%~80% 獨立連續可調
主要規格
按輸出功率分為5kW、10kW、20kW、30kW、50kW、70kW、100kW等。
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