微光機械系統助您突破數字光處理器功率瓶頸

　　美國特拉華大學的工程師近日宣布，他們解決了妨礙數字光處理器(DLP)在功率敏感的領域獲得普及應用的功率問題。

　　DLP通常采用微機電系統(MEMS)來控制微透鏡陣列的角度。然而，對于像空間探測這樣的功率敏感應用，即使調整微透鏡傾斜度的微放大器，其功耗都大到讓DPL無法使用。

　　今年美國國家科學基金會CAREER獎金得主、特拉華大學工程系教授Balaji Panchapakesan宣布，利用微光機械系統(MOMS)解決了這個問題。MOMS利用激光來激勵傾斜的、微小的反射鏡懸臂，取代了用電流為氣體、壓電或靜電執行機構供電的傳統方法。

　　一種活性光納米管薄膜使得MOMS能夠通過超低激光來激勵，從而不必采用消耗功率的電流激勵方法。研究人員表示，對于空間探測和場致顯示及生物醫學掃描儀這樣的新應用，其功耗足夠低了。

　　該技術利用標準的CMOS工藝步驟形成了一層碳納米管薄膜圖案，由它制成了300×30×7um的光激勵懸臂陣列。當其基座由808nm波長、170mW半導體激光照射的時候，這些懸臂會偏離23um。

　　Panchapakesan表示，他們已經積累了直接在納米管上形成薄膜的經驗。特拉華大學已經獲得了該技術的臨時專利權。