新型電力半導體器件的代表,IGBT的產業化在我國還屬空白。無論技術、設備還是人才,我國都處于全方位的落后狀態。應當認識到,電力半導體器件和集成電路在國民經濟發展中地位同樣重要,因此,政府應該對IGBT產業予以大力扶持。
眾所周知,電力電子技術可以提高用電效率,改善用電質量,是節省能源的王牌技術。當今以絕緣柵雙極晶體管(IGBT)為代表的新型電力半導體器件是高頻電力電子線路和控制系統的核心開關元器件,它的性能參數將直接決定著電力電子系統的效率和可靠性。IGBT已成為新型電力半導體器件的代表性器件,對大功率高頻電力電子裝置和系統的技術發展起著十分重要的推動作用。
認識不足導致IGBT受冷落
IGBT的產業化在我國還屬空白。雖然國家在“八五”和“九五”期間分別立項支持了IGBT的研發和產業化,但是由于各種客觀原因,這些攻關的成果只是做出了技術樣品,而沒能把技術樣品變為工程產品并且實現產業化生產。
很長時間以來,在半導體行業中有相當一部分人認為我們國家已掌握了0.15微米、8英寸的集成電路技術,IGBT的0.5微米、6英寸的技術應沒有太大難度。事實上它們的差別在于:集成電路的技術難點在于拓撲結構及版圖設計,其生產工藝較為規范化和標準化,只要版圖設計好了,在一條常規的線寬合適的IC流水線上流片應不會有太大的問題;而IGBT正好相反,其設計技術相對而言不太復雜,但由于其大電流、高電壓、高頻和高可靠的要求,加工工藝十分特殊和復雜。目前,全國還沒有一條較完備的IC工藝線可以從頭到尾完成IGBT的生產。另外,對于不同電壓等級和頻率范圍的IGBT,其主要工藝也有較大差異,從而增加了IGBT生產的特殊性和復雜性。
我國的IGBT器件之所以沒能最終實現產業化還有一個重要原因是缺少產業化的技術經驗和人才。隨著近幾年來海歸派回國創業,這一狀況在某種程度上得到了改善。此外,國內高校和研究機構的興趣大多轉移到SiC和GaN寬禁帶半導體器件及電源管理芯片方向,目前國內只有兩三家高校及院所還在進行與IGBT器件相關的研發,并且主要限于計算機仿真研究。這就導致了我國在IGBT設計和研發方面的人才奇缺。
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來源:EDN電子設計技術
http:www.mangadaku.com/news/2009-12/20091217144010.html

