日本開發出可集成微型熱電式氫氣傳感器

　　日本產業技術綜合研究所（產綜研）開發出了可集成于半導體芯片的微型熱電式氫氣傳感器。檢測范圍（空氣中氫氣的濃度）達到了0.5ppm～5%之間。用于氫氣站等設施的泄露檢測。今后將向有關機構提供傳感器樣品，力爭將其應用于氫氣設施中。

　　該傳感器在熱電轉換式MEMS元件上形成了以陶瓷支撐材料的鉑觸媒圖案。與過去的傳感器相比，更能發揮鉑觸媒的性能，因而具有良好的靈敏度和耐用性。

　　新傳感器由熱電轉換膜及其表面上部分形成的鉑觸媒膜組成，氫與觸媒的發熱反應引起的局部溫差，利用熱電轉換膜轉換為電壓信號。因而，只要使用高性能的熱電材料就可得到足以完成檢測任務的信號。

　　采用催化反應和熱電轉換功能相結合的工作原理，將元件本身產生的電壓轉換成信號，不僅提高了可檢測濃度范圍，還不易受到外界溫度的影響。

　　此次開發主要解決了在半導體晶圓上形成熱電薄膜、觸媒膜、電極、配線及加熱器的傳感器元件制造技術。同時，還提高了傳感器的耐用性，降低了生產成本。

　　通過試驗結果證實，新傳感器性能十分穩定。此次采用普通半導體工藝，就將微型傳感器集成到了硅底板上，因此該公司認為，將來還可集成處理傳感器信號的電子線路，因此便于小型化，以及通過量產降低生產成本，實用潛力很大。