——訪上海微電子裝備有限公司總經理賀榮明：

    半導體設備特別是光刻機技術難度很大，它對整個國家的工業基礎要求非常高，對國家創新能力及技術水平的提高作用很大，因此國家發展半導體設備裝備產業的決策非常正確。

    但是，由于不同的設備制造難度、自身特點及市場規律不同，會存在不同的發展策略和思路，因此做法上不能千篇一律。每個公司的發展策略不同，我們現在強調的是，第一不能做假，第二要勇于創新。我們想建一座高樓大廈，隱蔽工程也就是地基要做得很扎實，只有地基深厚，微電子設備產業的大廈才能建得更高。

    發展半導體設備產業，應發展重點產品，不該面面俱到。盡管如此，只要有條件，前道后道設備國內企業都應該做，這是不矛盾的。前道和后道設備特性不一樣，應該由不同的設備廠商去突破，在時間上可以同時進行，也可以交叉。我們不是從單一的設備談起，而是縱覽整個半導體設備產業的全局，所以要按一定規律布點，如果產品做得過于單一，氛圍、氣候和規模效應就會差一些。

    眾所周知，目前中國是全球IC產業發展最快的國家，因此對集成電路設備的需求與日俱增，可以說，國內半導體設備產業的市場前景很廣闊。但由于設備是一個技術門檻很高、用戶要求很苛刻的產業，因此要真正打造一個精品還要走很長、很艱辛的路，但往往越是艱難的路，越是有價值的路。

    我們公司一直堅持以下幾個方面：第一，堅持創新的方向與開放的心態相結合。我們非常鼓勵自主創新，這種創新又很開放，會和國內外優質資源進行很好地融合與合作。

    第二，從研究工作開始，就以面向市場作成產品為目標。光刻機這種關鍵設備進入大生產線要有一個很漫長的考核、使用、優化設計過程，用戶對設備廠商的態度是一視同仁的，當你還是一個嬰兒的時候，對用戶來講，他也會把你當成成人看待。這個過程不能要求嬰兒本身變成一個成人，只能要求環境更寬容，為他創造更好的條件，讓嬰兒盡快長大成人，這是政府和行業主管部門要做的。對設備業給予政策和資金上的支持，再加上用戶對國內設備廠商的支持，國內半導體設備產業的發展壯大便指日可待了。