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真空濺射鍍膜電源,磁控濺射電源,濺鍍電源,真空濺鍍電源,濺射鍍膜電源

公司名稱：上海日意電子科技有限公司
所屬類別：電源產品分類>>EPS電源
電子信箱：wuwenjing@riyipower.com
聯系電話：13917506174 021-51083590-115
聯系人：吳雯靜
更新時間：2010/8/25 11:02:18

產品詳情

商品簡介：

應用領域：磁控濺射電源. 濺射電源單元包括電壓產生部分，該電壓產生部分產生負極輸出端和正極輸出端之間的濺射電壓，還包括電路部分，該電路部分在即使在負極輸出端和正極輸出端之間產生電弧放電的情況下也能減小濺射電流中的波動。

詳細說明：

產品特點

鍍膜方式：直流磁控濺射、三靶或多靶磁控濺射鍍膜、射頻/直流磁控濺射+蒸發，制膜種類：金屬膜、粉體顆粒膜、反應膜、磁性膜、介質膜、氧化膜、有機膜。電源型式：3000W雙極脈沖電源、1000W電磁靶電源、2000W雙極脈沖源、1000W射頻電源、1500W恒流源。只使用直流電源，電子方向始終統一，會導致單一種類電荷堆積過高與控制源中和。也就是說用來提供動力的正負極被中和了，然后磁控濺射將不再繼續，所以采用脈沖電源。

產品指標參數：

電源規格：最大電壓：0-300V,0-500V,0-600V,0-700V…0-10000V

最大電流：0-10A,0-20A,0-30A,0-50A,…0-20000A
基本參數如下：

輸入電壓 220V50Hz
   輸出電流 0-固定電流可調
   輸出電壓 0-固定電壓可調
   穩壓精度(%) 〈1%
   穩流精度(%) 〈1%
   過載能力(%) 110%
   整機效率 ≥90%
   功率因數 >0.95

絕緣阻抗 ≥5MΩ
   冷卻方式風冷或水冷皆可
   工作限度可滿負荷操作
   對電網干擾小,易消除

保護功能過壓、欠壓、過熱、過流

工作環境 0~40℃ 濕度〈95

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