ENI電源 MKS電源 RF射頻電源
公司名稱：廣州市伊恩埃半導體技術有限公司
所屬類別：其他類>>其他
電子信箱：hamton.lin@aeni.com.cn
聯系電話：86-755-29880678
聯 系 人：林先生
更新時間：2012/3/10 11:38:41
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產品詳情
ENI/MKS RF電源
Spectrum RF電源
Spectrum 系列RF電源包括了1.5、3.0、5.0和10kW功率的高頻電源。Spectrum系列的特點是緊湊和模塊化、易于升級，具有精確的電源控制能力和±1℅的精度，高可靠性以及杰出的RF功率密度�？蛇x配圖形用戶接口和0－1kHz脈沖調制。推薦的Spectrum 系列電源的選配件有（需另外定購）：外接的模擬型或數字型接口。
Genesis系列RF電源
Genesis系列RF發生器可用于高可靠性的刻蝕工藝、CVD和PVD工藝中。該系列產品的頻率涵蓋了低頻到高頻，功率從1250 W到8500 W�；跀底中盘柼嶥SP的功率控制系統能夠檢測內部子系統的狀態，并配有內建的診斷和自動防故障的存儲器件。
ACG系列RF電源
ACG系列是低功率的、頻率為13.56 MHz的RF發生器。ACG系列RF等離子RF發生器是基于微處理器、輕便緊湊型設備，帶有載荷失配保護裝置，具有杰出的穩定性。ACG的功率范圍涵蓋了300W到1000W。
OEM系列RF電源
OEM系列是由微處理器控制的、水冷的線性RF發生器，可用于半導體領域。它以杰出的可靠性和高RF穩定性而著稱。600W到2.8kW的功率輸出，輸出波動為全量程的±1℅,頻率:13.56 MHz,輸入電源：208∨或380∨三相交流電，50∕60 Hz.
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ENI(MKS)維修案例 RF電源 Spectrum-10513-10 
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