本公司生產的真空鍍膜電源(真空蒸發鍍膜電源和真空濺射鍍膜電源)
有以下特點:1、恒壓,恒功率
2、抑制靶材弧光放電及抗短路功能, 具有極佳的負載匹配能力。
3、工藝重復性好。
4、提高成膜速度, 實現高質量的濺射膜層。
品名 |
真空鍍膜電源 | |
型號 |
SPWM系列 | |
輸入 |
相數 |
單相或三相 |
電壓 |
220/380V | |
頻率 |
50Hz | |
輸入方式 |
4線(含地線) | |
輸出 |
波形 |
直線 |
功率 |
30KW /60KW /100KW(可定制) | |
電壓 |
0—1200V(可定制) | |
穩定度 |
≤1% | |
電流 |
0—200A(可定制) | |
穩定度 |
≤1% | |
紋波及雜訊 |
≤5%或≤3% | |
效率 |
≥90% | |
控制 |
功率 |
可選擇 |
電壓 |
恒壓控制,可本地控制也可通過0-10V或4-20mA | |
電流 |
可選擇 | |
保護 |
具備缺相、過熱、限壓、恒功率、過壓、過流、短路、超載等保護功能 | |
冷卻 |
風冷 | |
外型 |
外殼 |
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尺寸(W*D*H) |
482.6mm*600mm*266.7mm(30KW) | |
重量 |
30KG(30KW) | |
備注 |
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