磁控濺射電源維修 PEII電源維修
公司名稱：廣州市伊恩埃半導體技術有限公司
所屬類別：電源應用分類>>電鍍電源
電子信箱：hamton.lin@aeni.com.cn
聯系電話：86-20-86585859
聯 系 人：林先生
更新時間：2010-4-27 15:33:37
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產品詳情
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AE(Advanced Energy) 低頻電源
PEII 低頻系列
PEII 低頻系列電源提供40 kHz 脈沖輸出，具有增強的弧控制以及與高達60 kW 的輸出功率，該系列電源具有極寬的匹配阻抗，無輸出變壓器等外部組合硬件，特別適用于反應濺射。
優點
●恒功率、電壓或電流輸出
●最高的靈活性與模塊性
●強大的電弧控制
●自動制程保護裝置
●極寬的祖抗匹配范圍
●高功率密度
PEII 5000
●輸入電壓：180-230VAC，3Φ（接地）
●輸出頻率：40kHz±0.01%
●輸出功率：5000W
●輸出電壓：547V RMS nominal in tap 4；953V RMS max in tap 7
●輸出電流：9A RMS nominal in tap 4；16A RMS max in tap 1
●冷卻方式：水冷，5-30℃，2gpm
●尺寸：177×482.6×495.3mm（高×寬×長）
●重量：40.8KG
PEII 10K
●輸入電壓：180-230VAC，3Φ（接地）
●輸出頻率：40kHz±0.01%
●輸出功率：5000W
●輸出電壓：547V RMS nominal in tap 4；953V RMS max in tap 7
●輸出電流：18 A RMS nominal in tap 4；32A RMS max in tap 1
●冷卻方式：水冷，5-30℃，2gpm
●尺寸：177×482.6×495.3mm（高×寬×長）
●重量：40.8KG
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